|
|
Поиск
| ||
|
| ||
Статьи и обзоры
|
 Российская литографическая установка появится через три года и будет дешевле иностранных
16.09.2025
Как выяснил CNews, российская литографическая установка, разработанная Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ), будет продаваться дешевле зарубежных аналогов на 40-60% Ее цена составит $6 млн, а скорость обработки пластин до — от 100 до 140 в час (в зависимости от сложности топологии). Об этом рассказал ведущий разработчик литографического оборудования ЗНТЦ Виктор Абросимов на предконференции форума «Микроэлектроника».Например, такая же установка нидерландской ASML, которая занимает 45% рынка, стоит $15 млн. И обрабатывает 180 пластин в час. Оборудование Nikon (25% рынка) стоит $12 млн и способно обрабатывать 150 пластин в час. Оборудование компании Canon, у которой 20% рынка, стоит $10 млн. И обрабатывает 140 пластин в час. Такая же установка от SMEE обойдется в $8 млн и способна обработать 120 пластин в час. «Российская разработка может успешно конкурировать с западными аналогиями, в том числе за счет снижения цены», — рассказал CNews представитель ЗНТЦ. По его словам, завершение работ по разработке планируется в 2026 г. А поставки начнутся с 2028 г. До 2030 г. планируется поставка нескольких установок микроэлектронным производствам. . При этом разработку литографа с разрешением 350 нм ЗНТЦ завершил в конце 2024 г. Установка литографии ЗНТЦ будет работать в диапазоне 130 нм с пластинами 150 и 200 мм и длинной волны 248 нм. Поддерживает подложки Si,SOI, SiN/SiO2. ЗНТЦ планирует к 2027 г. перейти на технологию 90 нм, а к 2030 г. — освоить 65 нм. Установка оптимизирована для фотонных интегральных схем. По словам Абросимова, использовать такую установку для этих целей экономически эффективно, т.к. набор масок для 130 нм стоит $750 тыс. А цена для 90нм составляет $1 млн. Для активных устройств экономия составит около $3-5 млн на проект. Также фотонные лазеры на 130 нм показывают выход годных 75-85%, что выше, чем для 65-90 нм (60-70%). Это связано с большей толерантностью к дефектам и вариациям процесса. Также были перечислены такие преимущества как термическая совместимость, точность выравнивания и контроль критических размеров. К 2034 г. рынок фотонных интегральных схем в России составил $4,9 млрд. Из него $2,9 млрд займет рынок, который закроет процесс на 130 нм и более. Подписывайтесь на наши новости в Telegram: https://t.me/idexpert Читайте нас на VK: https://vk.com/idexpert_ru Источник: CNews Рейтинг статьи 
Оставить комментарий
Материалы по теме:
Статьи и обзоры
Новости рынка и технологий
Продукты автоматической идентификации
Все продукты >>> |
Проекты и решенияСобытияОпросКомментарии |
| © 2009, ID-EXPERT Cообщество профессионалов в области ID Является средством массовой информации (18+) Разработка сайта "Агентство АСДК" |
||||||||||
